リソース
他用途分野
半導体製造工程にさらなる信頼性と生産性向上を
VICTREX PEEK製のCMPリテーナーリング採用
= メンテナンスに要するダウンタイム短縮
= スループット増加
優れた耐摩耗性によりVICTREX PEEK製CMPリテーナーリングはPPS製に比べて最大2倍の期間使用でき、ダウンタイムが短縮できるのでスループットが向上ができます。
FOUPおよびウエハー・キャリアの信頼性向上
耐摩耗性・耐薬品性、寸法安定性、ESD、低アウトガスをはじめとするVICTREX PEEKポリマーの物性によって微粒子コンタミを防ぎ、高い信頼性をもつウエハ移送と保管ができます。
