리소스
기타 애플리케이션
반도체 제조 공정의 신뢰도 및 생산성 향상
빅트렉스 PEEK 기반 CMP 리테이너 링을 통한 유지 보수 시간 단축, 생산 속도 향상
내마모성이 우수한 빅트렉스 PEEK 기반 CMP 리테이너 링은 PPS 링 대비 사용 시간을 두 배까지 늘려 유지 보수를 위한 정지 시간을 줄이고 생산 효율을 개선할 수 있습니다.
FOUP 및 웨이퍼 캐리어의 안정적인 성능 지원
내마모성, 내화학성, 치수안정성, ESD(대전 방지), 낮은 가스방출 등과 같은 빅트렉스 PEEK 폴리머 특성은 파티클 오염을 최소화하고 보다 안정적인 웨이퍼 취급, 저장, 이송을 지원합니다.
레티클 오염 및 손상 최소화
빅트렉스 PEEK 폴리머 솔루션은 기체방출 및 이온 오염이 최소화된 환경에서 레티클 보관을 할 수 있도록 돕습니다.
